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2020-11-01 来自: 亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司 浏览次数:264
亚瑟半导体设备搬运公司和大家分享一下什么是瑞利判据:
为了获得更 好的成像效果,科学家尝试了许许多多的方法:
在光刻系统中使用越来越短的光波(如目前因特尔等芯片企业已开始使用极紫外光),
扩大成像系统口径(如天文望远镜口径已达到10米以上),
增加成像系统数值孔径(如显微成像系统使用浸油等方式获得更大的NA)等,
但这些方法都未能摆脱理论极限的影响。“衍射极限”仿佛是一片笼罩在头顶的阴霾,成为了看似坚不可摧的障碍。为了能够打破这个枷锁和桎梏,实现超分辨成像,科学家们真是脑洞大开,展现出了无穷的智慧。
让我们看看科学家们通过哪些方法打破桎梏:结构光照明显微(SIM)
普通光学显微镜的成像过程可以通过点扩展函数进行描述,通过对点扩展函数进行傅里叶变换,可获得显微系统的光学传递函数。
由于衍射极限的存在,光学传递函数限制了通过显微系统的信息量,只允许低频信息通过系统,滤除代表细节的高频信息,即限制了系统的分辨率。
结构光照明显微镜实现超分辨的原理,就是利用特定结构的照明光 在成像过程把位于光学传递函数范围外的一部分信息转移到范围内,利用特定算法将范围内的高频信息移动到原始位置,从而扩展通过显微系统的样品频域信息,使得重构图像的分辨率超越衍射极限的限制。- 半导体设备搬运
对于光学显微镜系统,光学传递函数的三维结构是圆环结构,在零频位置存在凹陷。
凹陷带来的后果就是CCD 上记录的信息不仅包含物镜焦平面上的样品信息,同时包含焦平面外的样品信息。
由于受到焦平面外的信息的干扰,常规荧光显微镜无法获得层析图像。- 半导体设备搬运
三维结构光照明显微镜提高分辨率、获得层析图像的原理,就是利用特定结构的照明光来获得样品的高频信息,采用特定算法在横向和纵向上扩展样品频域信息的同时弥补凹陷带来的
以上就是我们的科学家如何拓展自己的视野
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