高精密电镜维修-搬运可以找亚瑟
2021-01-10 来自: 亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司 浏览次数:283
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问:JEOL6390,现在电镜使用时电子束电流总是很高,有96-110uA,处于橙色区域,灯丝使用寿命非常短,甚至换灯丝后半天就断,是什么原因?
答:灯丝寿命主要和饱和点和灯丝电流的调整有关,饱和点要调整到第二饱和点的欠饱和位置,欠饱和的越多灯丝寿命越长,但图像质量越差。灯丝电流调整要通过调整偏压实现,20kV时应在70左右,从你的数值看电流偏大了,需要打开调整窗口中“bias”选项,将其中的“corse“值调大,就应该可以了。另外,安装灯丝的栅极帽一订要用抛光膏抛干净,并用超声波清洗干净。还有真空度也会影响灯丝寿命,因此在”Ready“出现后,再等几分钟,让真空再好一些,也对灯丝有好处。
问:今天测样时候遇到这样一个问题,感觉电镜反应特别的慢,之前都是很快的,刚开始是我调倍率停下来之后它才慢慢反映到那个倍数,在观察窗口移动样品的时候,又特别的灵敏,稍微一动马上跑到别的地方了,难以控制,接下来出现的问题是仪器就停留在了1400倍,点击VIEW之后也没有回到最低倍率,任何按键都是无效,关灯丝也没有反应,最后强行关掉了,不知道这是什么原因造成的?还请您帮忙给解释一下。之前从来没出现过这种情况
答:这恐怕是计算机与电镜之间通讯不良,如果重启主机以后就回复正常,那没什么问题。偶尔发生的话问题不大。实验室搬迁
问:仪器JSM-6700F,偶尔在观察时会突然掉高压,不过很少次数。以前和同行们也讨论过,因为我是在观察当中掉高压,马上就又加高压的话,又可以观察了,所以大家认为应该是环境要求没有达到,包括冷却水、温湿度等,我当时认为可能是湿度,但湿度计显示不到50%,仪器对环境要求应该是60%以下吧?
另外,仪器上半年经常报警说与电脑连接失败,重启电脑就可以正常了,最近一个月没有这情况。这电脑和仪器链接不好吗?那链接不好应该不会时好时坏是什么原因呢?
答:掉高压在6700F来讲的话,主要有两个原因,首先样品室真空度不好的话,即样品在观察过程中如果突然outgas的话,真空度就有可能变差,甚至低于高压打开的阀值,这时就会造成高压自动关闭,因此请在看图像的过程中,打开penning gauge的窗口,注意一下样品室真空度是否会变差。另一个原因是由于penning gauge 本身使用时间过长的话,里面会有很多金属粉末,从而影响其放电,真空度显示就不准确了,会跳动,造成高压关闭也就不奇怪了,解决的办法就是清洗penning gauge 。当然有些地方接触不良也会造成高压关闭,这个只能就事分析,没有共性了。
通讯问题,不知道你们的机器是否连有HUB,如果有的话,会造成这种现象。如果没有的话,请查一下网线连接,还不行的话,可以换一块网卡试一下。 实验室搬迁