光学显微镜的安装与调试-

MEMS是Micro Electro Mechanical System的缩写，简称微机电‌‌设‍备‌搬‍运‍系统，光学显微镜的安装与调试是‌‌设‍备‌搬‍运‍按功能要求在芯片上把微电路和微机械集成于一体的系统。MEMS基于光刻、腐蚀等传统半导体技术，融入超精密机械加工，并结合力学、化学、光学等学科知识和技术基础，使得一个毫米或微米级的MEMS具备‌‌设‍备‌搬‍运‍而完整的机械、化学、光学等特性结构。MEMS产品主要可以分为MEMS传感器和MEMS执行器，其中传感器是用于探测和检测物理、化学、生物等现象和信号的器件，而执行器是用于实现机械运动、力和扭矩等行为的器件。MEMS传感器是采用微电子和微机械技工技术工艺制造出来的微型传感器，种类繁多，是使用广泛的MEMS产品，通过微传感元件和传输单元把输入的信号转换并导出另一种可监测信号。与传统工艺制造的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。