TEM透射电镜机壳搭建，减震平台移入-设备捆包装卸-电镜检测出租-
2021-03-06 来自: 亚瑟半导体设备安装（上海）有限公司 浏览次数:229
-美国时间TEM透射电镜机壳搭建，减震平台移入-设备捆包装卸-电镜检测出租-2021年3月5日-赛默飞世尔科技，科学服务领域宣布推出Thermo Scientific Spectra Ultra，全新一代扫描透射电子显微镜（S）TEM，能够在原子尺度上地洞悉各种材料的微观与化学结构。相比于传统电镜数小时的稳定时间，全新的Spectra Ultra在数分钟内即可灵活优化高级成像和分析条件。半导体设备搬运出于加快材料研究进程以及高通量的需求，用户现在甚至可以以非常快的速度稳定地调节加速电压。这扩展了研究的样品范围，减少了电子束损伤，并显著降低了工具的优化耗时。Spectra Ultra配备了全新的能量色散X射线（EDX）分析系统Thermo Scientific Ultra-X，它具有目前在商业化（S）TEM中具有检测器面积。结合全新的物镜设计，Thermo Scientific Ultra-X的X射线收集速度是目前市售解决方案的两倍，从而能够分析对电子束更敏感的材料和样品，半导体设备搬运即使这些样品中以前因含量太低而完全无法检测到的痕量元素也能够很好地表征出来。Spectra Ultra在Thermo Scientific Themis和Spectra平台的基础上，进一步降低了系统的复杂性，几乎所有用户都可以用它获得高质量高分辨率的数据。“配置了Ultra-X的Spectra Ultra改变了材料科学研究人员和半导体从业者的游戏规则。它可以通过迅速施加不同的加速电压来显著减少电子束损伤，并且用户将能够检测浓度的轻元素。”赛默飞世尔材料科学副总裁Rosy Lee说，“此外，与其他商业化解决方案相比，用户可以以更高的分辨率快速成像快速分析，以研究新材料和改进现有材料。”半导体副总裁Glyn Davies表示：“随着半导体制造商接近当前工艺技术的物理极限，半导体设备搬运正在逐步扩大元素周期表中元素的使用范围，以期找到能够提供新兴应用所需的功率、效率和性能的解决方案。Spectra Ultra提供了业界（S）TEM分析和表征功能，可以帮助他们满足对材料解决方案的需求。”半导体设备搬运易于使用的Spectra Ultra使半导体研究人员能够更快，更可靠地分析器件和结构。Spectra Ultra拥有目前功能大的商业化EDX系统，并可以即时切换加速电压，能够促进技术节点上新的存储器和逻辑设备的开发。