半导体设备搬运、高精密设备搬移、无尘室设备搬移
2021-05-11 来自: 亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司 浏览次数:280
半导体设备搬运-高精密设备搬移-无尘室设备搬移报道近日,有业内人士透露, 在“2021中国实体经济论坛”上面,中国机床工具协会原高级顾问邵钦作的发言中提到光刻机的问题。邵钦作说:现在国产光刻机面临的难题,有很大一部分是光刻机核心零部件加工水平的问题。他说中电科的领导找到他,告诉他现在中电科已经设计好了35nm光刻机。里面几个关键部件需要精密设备搬运精密加工,问他国产机床能不能胜任。他说选择给中电科挑选国产机床,可以达到他们的精度要求。邵钦作还说咱们日后要做13nm的光刻机,国产机床也需要继续攻关。
同时,有网友表示,光刻机三大样中,工作台或对准系统就是要高精度机床加工,而半导体的本质就是精密制造,没有高精密加工技术,就不会有半导体技术发展。据精密设备搬运了解,中国电子科技集团有限公司成立于2002年3月1日,是以原信息产业部直属电子研究院所和高科技企业为基础、组建而成的国有大型企业集团,也是批准的国有资产授权投资机构之一,由国有资产监督管理委员会直接监管。中国电科主要从事重要军民用大型电子信息系统的工程建设,重大装备、通信与电子设备、软件和关键元器件的研制生产。实际上,中电科布局光刻机已久,今年1月5日,中国电科(北京)集成电路核心装备自主化及产业化建设项目(一期)开工奠基仪式在京举行,精密设备搬运光刻机项目已开工。除了光刻机以外,近日,刻蚀设备也传来好消息。据报道,
中微公司成功研制出3nm蚀刻机,且完成了原型机的设计、制造、测试及初步的工艺开发和评估,并已进入量产阶段。