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医学透射电镜维修搬运装卸安装

2021-08-02  来自: 亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司 浏览次数:267

医学透射电镜维修搬运装卸安装的亚瑟报道:半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍产业资讯,半导体行业正迎来业界转折点。随着物联网、大数据、人工智能等推动的市场新一轮增长,对半导体需求从未如此之高。然而,另一方面,遵循摩尔定律的传统二维缩放技术正在达到极限。半导体厂商长期以来所依赖的PPACt(功耗、性能、单位面积成本和产品上市时间)的稳步改善可能会被打乱。尤其在逻辑芯片领域表现尤为突出,因为逻辑芯片是几乎所有电子产品的主要处理器,因而需要有高功率和高性能。根据半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍报道,为深入研究该问题,Applied Materials(应用材料公司)于近日举办了「逻辑大师班」 (Logic Master Class),AMAT的工程师和行业专家探讨了持续改进PPACt和其它逻辑扩展路线图的挑战和解决方案。半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍逻辑大师班所涉及的领域包括晶体管和接线缩放、图案化和设计技术协同优化(DTCO)的缩放技术。所有这些领域的共同点是需要采用新的芯片架构、新的三维结构、新的材料、新的形状微缩化方法和半导体芯片的封装技术等一系列组合,来补充传统的二维缩放技术。半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍介绍逻辑大师班所涉及的一些主题,特别是为了扩展逻辑半导体所克服的晶体管设计和物理限制领域。晶体管作为开关,为实现半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍性能,主要是通过限度地提高驱动电流和降低电容和电阻来减少开关延迟。例如,FinFET晶体管(鳍式场效晶体管)通过调整各种物理参数,如翅片高度、通道的栅极长度、电子通过通道的迁移率、施加在开关的阈值电压、以及控制开关的开启/关闭状态的栅极氧化膜厚度等,来加快运行速度。为减少电阻,会将高活性的掺杂物注入到通道附近区域。另一个重要因素是晶体管之间的变化。特定电路中速度半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍晶体管会成为性能瓶颈,因此电路中各个元器件性能差异越小,电路速度越快。


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阻碍FinFET性能的因素:翅片曲率

在新一代FinFET设计中存在着一个紧迫问题。FinFET的结构分为三个主要模块:通道和浅沟隔离、High-k/金属栅极(HKMG)和晶体管源/漏极电阻。


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图1:FinFET的三个主要模块:(1)通道和浅沟隔离(2)High-k/金属栅极(HKMG)(3)晶体管源/漏极电阻

对于通道和浅沟隔离模块,业界一直试图通过增加翅片高度和缩小翅片宽度来提高速度。然而,如果翅片做得更高更窄,在制造过程中,由于翅片之间的器件分离氧化膜的应变导致翅片在制造过程中容易弯曲。这种弯曲的反作用力会带来应变,降低电子迁移率,影响阈值电压并增加晶体管的性能差异。因此需要新的材料工程解决方案来消除这些翅片的弯曲。


运营项目

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