电镜搬运移入定位气垫车运输
2021-09-25 来自: 亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司 浏览次数:302
电镜搬运移入定位气垫车运输的亚瑟报道:精密设备搬运发现一段时间以来,因为地缘政治等因素的影响,国内对光刻胶的关注也逐渐增加。所谓光刻胶(又称光致抗蚀剂),据浙商证券的介绍,这是一种对光敏感的混合液体。其组成部分包括:光引发剂(包括光增感剂、光致产酸剂)、光刻胶树脂、单体、溶剂和其他助剂。光刻胶可以通过光化学反应,经曝光、显影等光刻工序将所需要的微细图形从光罩(掩模版)转移到待加工基片上。依据使用场景,这里的待加工基片可以是集成电路材料,显示面板材料或者印刷电路板。精密设备搬运作为芯片生产不可或缺的一种原材料,与5000亿美元的半导体市场相比,光刻胶的市场规模并不大。据TECHCET发布统计和预测数据:2021年,半导体制造所需的光刻胶市场规模将同比增长11%,达到19亿美元。但在过去多年里,这个市场一直被日本和美国厂商所垄断,尤其是在EUV光刻胶上面,那更是日本厂商一统天下。但从精密设备搬运国产厂商的一些消息看来,本土光刻胶初露曙光。据精密设备搬运报道,按照曝光波长分类,光刻胶可分为紫外光刻胶(300-450nm)、深紫外光刻胶(160-280nm)、极紫外光刻胶(EUV,13.5nm)、电子束光刻胶、离子束光刻胶、X射线光刻胶等。不同曝光波长的光刻胶,其适用的光刻极限分辨率不同,通常来说,在使用工艺方法一致的情况下,波长越小,加工分辨率越佳。