设备搬运设备装卸设备安装电镜移位
2021-11-19 来自: 亚瑟半导体设备安装（上海）有限公司 浏览次数:198
设备搬运设备装卸设备安装电镜移位的亚瑟精密设备搬运报道：中国虽然也有自己的国产光刻机厂商——上海微电子装备股份有限公司（SMEE），但是由于起步晚，再加上国外的技术封锁，使得其在技术上与国外存在着较大差距。早在2002年，光刻机就被列入精密设备搬运863重大科技攻关计划，上海微电子装备有限公司也由此成立。主要从事半导体装备、泛半导体装备以及智能装备的设计制造销售，其中光刻设备是公司的主营业务。精密设备搬运目前上海微电子的光刻机已可以应用于集成电路产业链中晶圆制造、封装测试，以及平板显示、高亮度 LED 等领域。资料显示，上海微电子直接持有各类专利及专利申请超过2400项。据上海微电子精密设备搬运介绍，其主要生产 SSX600 和 SSX500 两个系列的光刻机。其中，SSX600 系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术，以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术，可满足 IC 前道制造 90nm、110nm、280nm 关键层和非关键层的光刻工艺需求，该设备可用于 8吋线或 12 吋线的大规模工业生产。SSB500 系列步进投影光刻机不仅适用于晶圆级封装的重新布线（RDL）以及 Flip Chip 工艺中常用的金凸块、焊料凸块、铜柱等封装光刻工艺，还可以通过选配背面对准模块，满足 MEMS 和 2.5D/3D 封装的 TSV 光刻工艺需求。就是说，目前上海微电子SSA600系列光刻机只能用于90nm制程的芯片制造。并且，上海微电子的光刻机的实际出货情况也并不理想。根据精密设备搬运数据显示，2020年所公开的招中标信息中，上海微电子已共计中标2台半导体用光刻机，将分别供应给上海积塔半导体和中芯绍兴。2021年1月，中标1台光刻机，供应给长江存储。