精密仪器设备搬运搬迁定位移位-电镜搬运
2021-12-09 来自: 亚瑟半导体设备安装（上海）有限公司 浏览次数:263
精密仪器设备搬运搬迁定位移位-电镜搬运的亚瑟报道：半导体设备搬运用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上短板，国内晶圆厂所需的光刻机完全依赖进口。不过，近日，国内半导体厂导入光刻机又有了半导体设备搬运进展。英诺赛科（珠海）科技有限公司成功导入ASML光刻机实现氮化镓量产；晶瑞电材也表示，公司近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试。据半导体设备搬运了解，英诺赛科于2021年引入ASML光刻机，凭借着其TWINSCAN架构（双晶圆工件平台），英诺赛科进一步提升了硅基氮化镓功率器件制造的产能及产线良率。此次庆典上，ASML副总裁兼中国区总经理沈波代表ASML被英诺赛科授予“战略合作伙伴”称号。近年来，相较传统硅材料半导体设备搬运，氮化镓(GaN)和碳化硅(SiC) 等第三代半导体，以其更小尺寸、更高转换频率、更高功率密度等特点，逐渐成为了半导体产业的新焦点。此新材料可满足节能、减排、智能制造等战略需求。氮化镓是“第三代半导体”关键材料之一，具有广阔的市场前景，可渗透到包括消费、工业和汽车类电子应用领域。作为半导体设备搬运的8英寸硅基氮化镓芯片制造商（IDM），英诺赛科一直致力于推动第三代半导体制造技术的创新和革命。半导体设备搬运有力的支持，ASML始终根据其制造需求不断升级光刻设备ASML光刻机的顺利入驻将持续助力英诺赛科的大规模量产，为其长期发展保驾护航。ASML 深紫外光刻业务副总裁Ron Kool表示：“我们也欣喜地看到ASML TWINSCAN的在8英寸硅基氮化镓芯片制造领域得到验证。我们完全有信心支持英诺赛科未来的持续增长。”半导体设备搬运公开资料显示，英诺赛科是2015年12月由海归团队发起，并集合了数十名国内外精英联合创办的第三代半导体电力电子器件研发与生产的高科技企业。英诺赛科采用IDM全产业链模式，致力于打造一个集研发、设计、外延生长、芯片制造、测试与失效分析为一体的第三代半导体生产平台。