半导体设备搬运移位定位气垫车运输
2022-04-25 来自: 亚瑟半导体设备安装（上海）有限公司 浏览次数:341
半导体设备搬运移位定位气垫车运输的亚瑟报道：半导体设备搬运（Computer Integrated Manufacturing，计算机集成制造）的概念是由Joseph Harrington博士在其1974年发表的书中提出的，CIM是一种组织、管理与运行企业生产的工具。CIM通过创建自动化制造流程的能力，将人工参与度降低交由计算机来处理，加快制造速度，而且更不容易出错，在半导体领域，CIM主要是部署在半导体晶圆制造以及半导体设备搬运封测工厂内部的生命级软件系统，从信息的收集、分析、决策，到包括二次分析、大数据model的预测性分析、给出决策意见，都可由CIM系统完成。半导体设备搬运而CIM系统又由数十种软件系统组成，如制造执行系统MES、设备自动化EAP、半导体设备搬运制程控制APC、配方管理系统RMS、设备失效侦测与分类FDC、良率分析控制系统YMS、质量管理系统QMS、设备保养系统PMS、工程运行控制系统FMC、远程控制管理系统RCM、实时调度系统RTD、自动排产系统APS等。我们曾多次强调到，在整个CIM系统中，半导体设备搬运。MES被喻为芯片制造的“大脑”，控制和管理芯片制造的全过程，通俗的来说，MES系统主要功能就是解决“如何生产”的问题但除了MES之外，被誉为“设备管理大师”的半导体设备搬运也是晶圆厂中关键的系统之一。EAP系统是MES与设备的桥梁，它对生产线的机台进行实时监控，所有的生产数据和机台营运状态等都是通过EAP系统来收集，EAP将这些数据传送给MES、AS等服务器对应的数据库，然后MES再对这些数据进行指挥控制。所以EAP也是工厂实现自动化必不可少的控制系统。半导体设备搬运再就是，随着晶圆日趋增大和关键尺寸的不断缩小，晶圆来到12英寸，原来的统计制程控制（SPC）已经不能适应12寸量产线的质量控制要求，半导体设备搬运成为不可或缺的关键系统。APC主要负责采集包括产品、工艺、设备、技术平台等相关的历史数据，实时调整生产工艺配方的参数，以达到控制制程质量、提高产品良率的目的。