上海洁净室精密设备搬移搬运-气垫车运输
2022-08-18 来自: 亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司 浏览次数:607
上海洁净室精密设备搬移搬运-气垫车运输的亚瑟报道:近日,赛微电子控股子公司赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司完成了“8英寸MEMS半导体设备搬运代工线”(北京FAB3)二期产能洁净室的整体建设,截至目前已搬入部分设备进行安装调试,计划在今年底之前实现通线生产。半导体设备搬运洁净室(Clean Room)是指空气悬浮粒子浓度受控的空间,同时将室内的洁净度、温度、湿度、正压、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在满足工艺需求范围内,洁净室的作用是确保产品(芯片晶圆)能在一个良好环境空间中进行生产、制造,测试、包装。北京FAB3二期洁净室总建设规模10,730.54平米,主要洁净分区为 10级洁净区(Litho光刻区)、100级洁净区(Dry Ethch等非光刻区)、1000级洁净区(封测包装及实验区)。半导体设备搬运截至目前,赛莱克斯北京8英寸MEMS半导体设备搬运代工线北京一期产能(1万片/月)正常使用中,二期产能(2万片/月)的建设也正在进行中。自通线以来,公司北京FAB3的工艺开发能力及生产工艺水平逐步得到国内外客户的认可,正在积极开拓市场并持续推进产能爬坡,努力提升产能利用率。赛微电子是半导体设备搬运集成电路晶圆代工生产商,半导体设备搬运也是国内拥有自主知识产权和掌握核心半导体制造技术的特色工艺晶圆制造商。公司在国内外拥有多座中试平台及量产工厂,业务遍,服务客户包括的DNA/RNA测序仪、半导体设备搬运光刻机、元宇宙、计算机网络及系统、硅光子、红外、可穿戴设备、新型医疗设备、汽车电子等巨头厂商以及细分行业的企业。