上海实验室设备搬迁|实验室厂房搬迁设备搬运|实验室机器搬迁

上海实验室设备搬迁|实验室厂房搬迁设备搬运|实验室机器搬迁的亚瑟报道：在中国科学院上海微系统与信息技术研究所的实验室里，俞文杰正在对‌‍精‌密‍设‌备‍搬‌运‍集成电路材料进行检测。这个实验室拥有非常‌‍精‌密‍设‌备‍搬‌运‍的检测仪器，是验证集成电路材料性能的重要平台。‌‍精‌密‍设‌备‍搬‌运‍硅片被称为“半导体画布”，在硅片之上布设晶体管和金属连线后，它就能变身为完成复杂运算、处理特定任务的集成电路和各种半导体器件，也就是我们常说的芯片。‌‍精‌密‍设‌备‍搬‌运‍硅片的直径一般有150毫米、200毫米、300毫米等规格，尺寸越大的硅片，其制造难度越高，对原材料纯度、硅片平整度、表面颗粒数和金属残留量等技术指标的要求就越苛刻。过去，我国在这个领域技术相对薄弱，性能‌‍精‌密‍设‌备‍搬‌运‍300毫米大硅片更是完全依赖进口。‌‍精‌密‍设‌备‍搬‌运‍俞文杰说，300毫米大硅片对平坦度有极高的要求，相当于北京到上海高速公路距离的范围内上下起伏不能超过30厘米，所以这对研发团队是非常严峻的挑战。‌‍精‌密‍设‌备‍搬‌运‍为了打破我国大硅片核心技术受制于人的局面，中科院上海微系统所在2014年启动大硅片研发与产业化项目，并成立300毫米大硅片攻关突击队，俞文杰担任队长。攻关的重中之重就是单晶硅棒的制作。‌‍精‌密‍设‌备‍搬‌运‍俞文杰介绍，做300毫米硅片，首先要拉制出一个质量很高的单晶硅棒，难度挑战非常大。“我们在拉晶炉里面要考虑各种物理效应，控制各种物理参数，‌‍精‌密‍设‌备‍搬‌运‍的单晶棒。刚开始的时候，拉出来的晶棒有效长度非常低，没有办法做成产品化。”‌‍精‌密‍设‌备‍搬‌运‍拉制单晶硅棒的原料是像煤块一样的多晶硅块，因为原子结构排列无序，性能远不及单晶硅。投入熔炉就是要让多晶硅熔化再凝固，围绕着一根旋转的单晶硅生长成一根排列有序的单晶硅棒。拉出这根‌‍精‌密‍设‌备‍搬‌运‍单晶硅棒，攻关突击队用了两年的时间。