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镀膜机设备装卸搬运-MOCVD设备装卸搬运移入移出捆包运输-亚瑟报道：2月14日晚间，上海新阳公告披露，精‌密‍设‌备‍搬‌运‍公司拟与上海化学工业区管理委员会、上海化学工业区发展有限公司签订《投资意向协议》，变更全资子公司上海芯刻微材料技术有限责任公司注册于上海化学工业区，并启动位于上海化学工业区的项目（下称“项目”）建设。

该项目主要用于开发集成电路关键工艺材料。经初步测算，项目总投资金额约为5.8亿元人民币，占地约104亩。项目资金来源为公司自有及自筹资金，上海新阳称，带来精‌密‍设‌备‍搬‌运‍资金压力精‌密‍设‌备‍搬‌运‍项目预计年产500吨I线、KrF、ArF干/湿法光刻胶；年产10000吨光刻胶稀释剂；年产5000吨高选择比氮化钛刻蚀液系列产品；年产15000吨干法蚀刻清洗液系列产品。精‌密‍设‌备‍搬‌运‍据公告披露，项目拟于2023年取得施工许可证，2025年底前竣工，2026年6 月底前投产。精‌密‍设‌备‍搬‌运‍上海新阳的独立董事对此项目给出的意见为，为了进一步巩固在国内半导体材料行业的精‌密‍设‌备‍搬‌运‍地位，实现我国集成电路关键工艺化学材料的自主可控，公司目前需要扩大产能以满足未来客户需求。项目投产将使公司清洗液系列产品、光刻胶系列产品、刻蚀液系列产品的产精‌密‍设‌备‍搬‌运‍提高。本项目建设符合公司长期发展的战略需求。上海新阳创立于1999年7月，2011年6月在深圳证券交易所创业板上市。公司此前在公告中提到，公司成立前10年，研发出了面向半导体封装领域的精‌密‍设‌备‍搬‌运‍代电子电镀与电子清洗技术，为我国半导体封装引线脚工艺加工带来了一场根本性技术变革与提升；后10年，研发出了面向芯片制造领域的第二代电子电镀与电子清洗技术，为我国芯片制造铜互连工艺填补了国产材料的空白，实现了国产替代和自主供应能力，一举突破了国外企业在这一领域的垄断，避免了被国外封锁与“卡脖子”的可能。迄今为止，公司是国内能够满足芯片90-14nm铜制程全部技术节点对电镀液要求的本土企业。精‌密‍设‌备‍搬‌运‍值得关注的是，2022年上半年，作为公司的第三大核心技术产品，上海新阳的光刻胶取得重大突破，自主研发的KrF光刻胶产品通过认证，客户不断增加，已在国内主流晶圆制造厂商处实现供货。公司在1月曾对外表示，公司KrF光刻胶已批量化生产销售，ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中，EUV光刻胶尚在开发阶段。精‌密‍设‌备‍搬‌运‍总体而言，上海新阳目前形成了拥有完整自主可控知识产权的电子电镀和电子清洗两大核心技术, 第三大核心技术电子光刻技术及第四大核心技术电子研磨技术都已基本形成。