半导体设备扫描电镜搬运移入移出-
2023-04-11 来自: 亚瑟半导体设备安装（上海）有限公司 浏览次数:3422
扫描电镜搬运
扫描电镜的搬运是个令人头痛的问题，半导体设备搬运特别是当它从一个实验室搬到另一个实验室时，往往要花很长的时间，因为它需要移动很大的距离，并且需要将所有东西都从一个房间移动到另一个房间。
虽然有些扫描电镜是通过液压驱动的，但是这些扫描电镜有一个共同的问题，就是它们需要很大的空间来移动。事实上，大多数扫描电镜都不会使用液压驱动，所以当你打开它们时，它们可能会非常缓慢地移动。
现在有很多扫描电镜可以提供半导体设备搬运移动性能，比如我们公司生产的LMS-80型扫描电镜就有液压驱动系统，如果你不希望扫描电镜在运输过程中有太大的移动性，那么就可以选择这款扫描电镜。
移入
使用扫描电镜搬运前，需先将样品放置到指定的位置上，半导体设备搬运并保证样品与扫描电镜之间的距离在10 cm以上，然后进行扫描电镜搬运。
将扫描电镜从工作台上卸下后，半导体设备搬运需要进行一系列的检查和调试，确保各项参数都正常。
如果在运输过程中有损坏或故障，需要立即停止使用，并将样品送回维修中心进行检测。
如果需要使用到的是一些特殊的样品，例如：生物材料、高强度纤维、聚合物或一些特殊的金属材料等，这些样品的表面对电子束是不导电的，因此需要对扫描电镜进行专门的设计和改造，使其符合这些特殊样品的特性。
移出
从被观察物体的表面取下样品，半导体设备搬运同时对被观察物体进行观察和测量。对于半导体设备扫描电镜来说，这个过程称为移出。
与移动相比，移出更容易理解一些，它是将被观察物体从一个表面移动到另一个表面，也就是说，被观察物体从一种状态移动到另一种状态。
（1）样品从样品台上取下并从一个表面移到另一个表面；
（2）样品在两个表面上移动。
这是因为，要将被观察的物体从一个表面移动到另一个表面，需要两个步骤：
重定位
现在我们来说一下重定位。
当一个扫描电镜在工作时，它的电子束通过两个探头进行扫描，其中一个探头被安装在样品室内，而另一个探头被安装在样品室与 XYZ三个方向的空间中。由于两个探头都是由一块电子透镜进行聚焦，因此在聚焦过程中产生了半导体设备搬运的形变。当这些形变达到半导体设备搬运的大小时，就会影响到图像的清晰度，严重的甚至会出现图像模糊。
为了避免这种情况的发生，我们可以通过对每个探头进行重新定位来减少形变造成的影响。当一个探头被安装在样品室内时，我们可以通过如下步骤进行重定位：
使用一个工具对探头进行标定
将两个探头从样品室内移动到另一个样品室内
搬运注意事项
如果样品需要搬运，则需使用特殊的工具。半导体设备搬运特别是对于具有不同角度的样品，建议在搬运过程中使用托盘、箱子或袋子。对于尺寸较大的样品，请使用一个较大的托盘来进行搬运。
在运输过程中，请使用绳子和绑带将仪器固定在托盘上。确保仪器与托盘之间没有空隙，并用绳子将仪器与托盘绑紧。
在搬运过程中，请使用一个较大的盒子来存放样品。
在运输过程中，请不要用手直接触碰探头表面或任何其他半导体设备搬运部分（包括探头与样品之间的区域）。避免将探头靠近高温物体（如铁和铝）或带有腐蚀性液体的物体（如氨水）。