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2025-04-25  来自: 亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司 浏览次数:19

在半导体产业向制程加速迭代、晶圆厂产能持续扩张的背景下,设备搬迁的复杂性与技术门槛呈指数级攀升。亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司凭借20年行业深耕积累的127项技术,构建起覆盖半导体设备吊装移位、精密捆包、无尘移入移出的全链条服务体系,成为长三角地区晶圆厂、封测企业及精密制造领域的技术信赖之选。


针对光刻机、离子注入机等超重精密设备,亚瑟自主研发的“多轴联动磁悬浮吊装系统”可实现垂直±0.5mm、水平±1mm的定位。该系统通过24组电磁力场发生器构建三维动态平衡场,配合激光测距阵列实时修正设备空间姿态,在某12英寸晶圆厂EUV光刻机吊装中,成功突破传统吊装因钢丝绳形变导致的2-3mm晃动误差。针对无尘室环境,其定制化气垫搬运车采用全氟醚密封技术,在ISO Class 1级洁净车间内实现设备悬浮搬运,粒子污染率较行业标准降低97%。


亚瑟“三明治防护结构”将设备运输风险降至冰点。其多层复合包装材料由外向内依次为:0.8mm航空级铝合金框架(抗冲击强度120kJ/m²)、蜂窝铝芯缓冲层(吸能效率92%)、EPE纳米级防静电内衬(表面电阻10⁶-10⁹Ω)。在合肥某化合物半导体工厂MOCVD设备运输中,该方案使设备经受住3.2G加速度冲击后,内部晶圆承载台平面度仍保持0.005mm/m²原厂精度。针对超精密光学元件,其真空吸附式固定工装通过128个独立气压单元实现点对点压力控制,在运输振动中始终维持0.01mm的贴合精度。


亚瑟的“洁净搬运生态链”贯穿设备进出洁净室的完整流程:

预处理阶段:使用德国进口VOC检测仪对设备表面进行分子级清洁度验证,确保有机物残留≤0.01μg/cm²

移入阶段:搭载HEPA过滤系统的智能AGV小车配合六维力控机械臂,在ISO Class 4环境下实现±0.02mm的定位精度

移出阶段:通过氮气吹扫舱与真空过渡室构建梯度压力环境,避免微粒倒灌污染洁净区
在无锡某CIS传感器工厂的搬迁中,该体系使设备移入后洁净度恢复时间从行业平均8小时压缩至1.5小时,产能爬坡效率提升400%。


面对半导体设备搬迁中的“不可能任务”,亚瑟的132套特种工法展现出技术破壁能力:

高空狭缝吊装:在某晶圆厂改造项目中,通过微型液压顶升平台与碳纤维吊臂组合,在层高3.8米、设备间距0.6米的极限空间内完成5吨级刻蚀机吊装

超低温敏感设备运输:针对-196℃液氮冷却设备,采用真空多层绝热罐体与相变材料复合温控方案,72小时运输中温度波动±0.5℃

核级洁净设备移位:使用等离子去污机器人对设备表面进行放射性残留清除,配合铅屏蔽搬运工装,成功完成某科研机构0.1Bq/cm²级低放设备无尘移位

全周期服务网络保障交付品质
亚瑟构建的“1+5+N”服务网络(1个总部指挥中心、5个区域技术中心、N个现场响应团队)可实现2小时技术方案响应、8小时专家到场。其自主研发的智能监控平台集成温湿度、振动、压力等16类传感器,实时传输数据至德国TÜV认证的远程诊断中心。在某海外晶圆厂设备回运项目中,通过该平台提前发现并规避了3次潜在运输风险,设备完好率达100%。

作为SEMI半导体设备与材料协会会员单位,其服务热线021-4000810031与项目专线158-0214-7888提供免费技术咨询,从设备评估到方案落地全程配备原厂认证工程师团队。在半导体产业向3nm以下制程冲刺的当下,亚瑟正以技术创新重新定义设备搬运的精度边界,为行业提供“毫米级定位、零缺陷交付”的终极解决方案。

运营项目

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