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2025-05-17  来自: 亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司 浏览次数:6

在半导体产业高速发展的今天,一颗芯片的诞生需要经历数百道精密工序,而背后支撑,是价值数千万甚至上亿元的半导体生产设备。这类设备对搬运环境、操作精度、洁净度要求极为严苛,一次意外的震动或微尘污染,都可能导致设备精度下降甚至报废。亚瑟Arthur吊装团队凭借多年深耕半导体设备搬运领域为行业提供从“小型设备移位”到“整线搬迁”的全流程解决方案,成为众多晶圆厂、封装测试企业信赖的合作伙伴。

半导体设备的精密性决定了搬运过程的复杂性。以光刻机为例,其内部光学系统对震动极其敏感,搬运时需将震动幅度控制在0.05G以内;而刻蚀机、薄膜沉积设备等则对洁净度要求极高,搬运环境需达到百级无尘标准。亚瑟团队针对半导体设备特性,构建了三级防护体系

定制化包装:采用抗静电EPE泡棉、真空吸塑托盘、全封闭无尘箱体等材料,确保设备在运输途中免受冲击、静电、潮湿侵害;

精密吊装:使用高精度液压升降平台、气垫搬运车,配合激光水平仪实时监测,将设备倾斜角度控制在0.1°以内;

环境控制:搬运车辆配备恒温恒湿系统,全程监控温湿度、气压变化,确保设备处于状态。

在半导体工厂中,小型设备如检测仪器、封装设备的移位同样考验技术实力。亚瑟团队研发了模块化移位方案,针对不同设备特点快速匹配工具:

对于重量在500kg以下的设备,采用电动搬运小车+气垫模块组合,实现狭小空间内的转向;

对于需要无尘操作的设备,使用FFU风机过滤单元+全封闭移位罩,确保洁净度达标;

针对易碎部件,定制3D打印缓冲支架,将应力分散至设备非敏感区域。

半导体工厂中不乏重达数十吨的工业设备,如CMP抛光机、离子注入机等。亚瑟团队配备特种吊装装备,攻克超重设备搬运难题:

双机抬吊系统:通过计算机同步控制两台汽车吊,实现80吨级设备的平稳起吊;

液压顶升平台:承载力达200吨,适用于反应腔体等大型设备的拆装;

蜘蛛式起重机:在层高受限的洁净室内,可替代传统吊车完成设备就位。

技术壁垒:团队成员持有特种设备作业证、无尘室操作证等,定期接受设备厂商培训;

经验壁垒:累计服务应用材料等主流设备搬运规范;

资源壁垒:自有30余台特种车辆、500套工装,可同时承接3个大型半导体项目;

服务壁垒:提供“搬迁前-中-后”全周期管理,包括设备状态检测、工艺气体管路拆装、产线调试支持等增值服务。

半导体设备搬运容不得半点闪失,亚瑟Arthur团队以“毫米级精度、零事故率”为标准,为每一台设备量身定制搬运方案。无论您需要小型设备移位、整线搬迁,还是工业设备装卸,亚瑟团队都能提供、安全的服务。立即联系亚瑟专家团队,获取免费现场勘测与定制化报价方案,让您的“芯”资产在搬迁中万无一失!


运营项目

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