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2025-06-20  来自: 亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司 浏览次数:4

在半导体产业高速发展的背景下,设备搬运的精度与效率已成为影响产线连续运行的关键因素。亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司凭借十余年行业积淀,构建起从精密装卸到运输的半导体设备搬运全流程服务体系,以专业化解决方案助力企业实现设备迁移

半导体设备搬运的复杂性源于其“三高”特性——高价值、高精密、高洁净度要求。亚瑟公司自主研发的悬浮气垫搬运系统,通过0.01mm级微调技术,可实现光刻机、刻蚀机等核心设备在无尘室内的毫米级定位。在为某12英寸晶圆厂搬迁项目中,技术团队采用气垫平移与激光跟踪仪联合作业,成功将价值超3亿元的极紫外光刻机整体移位,设备水平误差控制在±0.02°以内,远超行业±0.05°标准。

针对精密仪器,亚瑟“三维防护体系”:内层使用抗静电EPE珍珠棉包裹光学元件,中层填充蜂窝状减震材料,外层采用级铝合金运输箱。在为某实验室搬运冷冻电镜时,通过全程-80℃恒温控制与六自由度减震平台,确保设备穿越3000公里后分辨率仍达0.1nm级。

亚瑟将搬运流程拆解为四大模块、28个标准化节点:

前期勘测:运用3D激光扫描仪建立搬运路径数字孪生模型,提前规避门框高度、承重梁位置等16类物理限制;

定制化方案:根据设备特性生成专属《搬运技术手册》,包含200余项参数指标,如某型质谱仪的搬运方案就包含真空腔体保护、电磁屏蔽等12项专项措施;

作业实施:采用双指挥系统,现场负责人与远程技术专家通过5G+AR眼镜实时协同,某次SMT设备搬迁中,通过AR标注提前发现3处潜在碰撞点;

验收交付:运用激光干涉仪进行六自由度校准,出具包含37项检测数据的《设备机能确认书》。

在华东某8英寸晶圆厂扩建项目中,亚瑟团队面临双重挑战:需将百余台设备从旧厂区经城市道路转运至50公里外的新厂,同时要保证洁净度等级。解决方案包含:

运输环节:定制全封闭式恒温恒湿气垫车,配备三级过滤系统,确保车内达到ISO Class 1洁净度;

装卸环节:使用350吨级液压平板车与无尘室专用不锈钢搬运车衔接,设备悬空高度控制在5mm以内;

应急预案:针对可能出现的突发状况,制定72小时快速响应机制,包括备用气垫模块、洁净度快速恢复包等。

该项目最终实现设备开机合格率100%,较传统搬运方式缩短工期40%。类似成功案例已覆盖头部企业,以及复旦大学、中科院等科研机构。

亚瑟的服务不止于物理搬运,更延伸至设备生命周期管理:

预防性维护:通过振动分析仪、红外热成像仪等设备,在搬运过程中同步完成23项健康检查;

数字化追溯:每台设备配备RFID标签,搬运全程温湿度、震动数据实时上传至区块链平台;

再生服务:对老旧设备进行翻新后再搬运,某企业使用10年的探针台经亚瑟改造后,测试精度提升30%。亚瑟正加速布局智能化搬运领域,研发的AI路径规划系统已进入实测阶段,可自动生成搬运路线并模拟推演1000+风险场景。从实验室到无尘车间,从长三角到东南亚,这家以技术立身的企业,正在重新定义精密设备搬运的行业标准,为半导体产业高质量发展提供坚实保障。

运营项目

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