半导体设备专 业搬运装卸解决方案（亚瑟标准）
2025-08-27 来自: 亚瑟半导体设备安装（上海）有限公司 浏览次数:7
一、服务能力矩阵
1. 全品类设备覆盖
晶圆制造设备：光刻机（ASML TWINSCAN系列）、蚀刻机（AMAT Centris）
封装测试设备：探针台（TSK UF2000）、分选机（ADVANTEST T2000）
薄膜设备：PVD（AMAT Endura）、MOCVD（Veeco Propel）
量测设备：CD-SEM（Hitachi CG4000）、椭偏仪（KLA SpectraFilm）
2. 技术指标
震动控制：＜0.003G（满足EUV光刻机要求）
洁净等级：ISO 3级（0.1μm颗粒＜1000/m³）
定位精度：±0.01mm（激光跟踪系统）
温控范围：-40℃~150℃±0.5℃
二、特色服务项目
1. 晶圆厂特殊作业
无尘室悬吊搬运（天花承重≥500kg/m²）
联机设备不断电迁移
千级洁净环境维持
设备群组同步搬运
2. 专项技术方案
EUV光刻机搬运系统
12英寸晶圆设备防震方案（震动＜0.001G）
半导体设备无尘拆解技术
AMHS系统整体搬迁
三、技术装备清单
| 装备名称 | 技术参数 | 适用场景 |
|---|---|---|
| 气浮搬运平台 | 承重15T/水平误差±0.01° | 光刻机定位 |
| 恒温防震车 | -40℃~60℃/震动＜0.002G | 精密设备运输 |
| 激光定位系统 | Leica AT960/0.01mm精度 | 设备安装定位 |
| 模块化吊具 | 200T承重/自动平衡 | 大型设备吊装 |
| ESD防护系统 | 表面电阻10^6Ω | 敏感器件搬运 |
四、标准化作业流程
阶段一：预评估（3-5工作日）
设备3D扫描建档（FARO Focus S350）
震动敏感度测试（B&K振动分析仪）
搬迁路径模拟（AutoCAD Plant 3D）
风险控制方案制定
阶段二：预处理（1-2周）
设备安全下电（原厂标准程序）
精密部件氮气保护（露点＜-60℃）
运动部件机械锁定
专用工装定制（3D打印）
阶段三：搬运实施
实时震动监控（PCB传感器）
环境参数记录（温湿度/洁净度）
进度日报制度
双人确认制度
阶段四：安装调试
激光辅助定位（0.01mm）
72小时连续测试
原厂参数比对
出具验收报告
五、质量保障体系
三重防护标准
设备级：防震/防尘/防静电
数据级：参数备份/配置保存
环境级：洁净度/温湿度控制
保险保障
设备价值150%投保
第三方责任险5000万
运输险全程覆盖
六、经典案例
案例1：某12英寸晶圆厂扩产搬迁
挑战：5nm产线设备迁移（含EUV光刻机）
方案：开发磁悬浮搬运系统（震动＜0.0005G）
建立临时洁净走廊（ISO 2级）
实施分区块接力搬迁
成果：提前2周完成设备性能提升3%获客户技术创新奖
案例2：化合物半导体厂整体搬迁
难点：MOCVD设备热腔体搬运有毒气体系统处理千级洁净度维持
解决方案：专用恒温搬运舱（650℃±5℃）气体管路三重密封正压洁净防护系统
成效：零安全事故设备重启时间缩短40%
获评年度工程
七、服务优势对比
| 服务项 | 亚瑟标准 | 行业普通标准 |
|---|---|---|
| 震动控制 | ＜0.003G | ＜0.01G |
| 定位精度 | 0.01mm | 0.1mm |
| 洁净等级 | ISO 3级 | ISO 5级 |
| 响应时效 | 2小时 | 8小时 |
| 质保期 | 18个月 | 12个月 |
八、服务承诺
✅ 四个保证
设备完好率100%
参数达标率100%
按期完成率100%
安全事故零发生
✅ 超值服务
免费预评估
搬迁后性能优化
年度设备健康检查
老客户专属通道