亚瑟半导体设备安装（上海）有限公司

精密设备及半导体设备搬运技术规范

一、标准化搬运流程（7阶段28步骤）

前期评估阶段

设备建档：采用3D激光扫描（精度0.05mm）建立数字孪生模型

风险评估：SEMI S2标准评估静电/震动/污染风险

路径规划：BIM技术模拟搬迁路径

专项方案：制定个性化防护方案（含减震/温控/洁净度指标）

预处理阶段

精密下电：执行原厂标准断电程序（至少12小时渐进式降压）

部件固定：运动部件使用专用锁定装置（扭矩值±5%）

气体置换：敏感腔体进行氮气置换（露点＜-40℃）

数据备份：完整镜像设备参数（三重校验机制）

拆卸包装阶段

模块化拆解：按SEMI标准划分功能模块

多层防护：

初级：防静电PE膜（表面电阻10^6-10^9Ω）

中级：记忆棉缓冲层（减震系数0.003G）

外层：铝镁合金箱体（抗压500kg/m²）

状态监测：内置温湿度/震动记录仪（0.001G分辨率）

运实施阶段

专用装备：气垫搬运系统（承载力80T/震动＜0.002G）恒温运输车（-40℃~60℃±0.5℃）激光定位系统（0.01mm定位精度）

实时监控：震动频谱分析（1-200Hz全频段监测）洁净度维持（ISO 3级动态保持）

安装调试阶段

微米级定位：激光跟踪仪辅助安装（0.001mm重复定位精度）

原厂级调试：执行设备制造商标准调试流程

2小时测试：连续运行验证设备稳定性

参数比对：与搬迁前数据进行差异分析（允差＜0.5%）

验收认证阶段三方验收：用户/厂商/搬运方联合签署验收文件性能认证：出具第三方检测报告数据归档：建立完整设备生命周期档案

后期维保阶段3个月跟踪期：每周远程诊断设备状态年度健康检查：免费提供设备性能评估终身数据服务：设备参数云端保存

二、关键注意事项（12项核心控制点）

震动控制光刻机等核心设备：＜0.001G（1-100Hz频段）普通工艺设备：＜0.003G采用主动电磁阻尼系统实时调节

洁净度维持EUV设备区：ISO 1级（≥0.1μm颗粒＜10/m³）关键区域：ISO 3级动态维持使用ULPA过滤器（过滤效率99.999%）

温湿度管控

温度波动：±0.5℃（敏感光学元件区域）

湿度控制：45±5%RH（防静电要求）

全程记录温度变化梯度（＜1℃/h）

静电防护工作台面电阻：10^6-10^9Ω人员防护：穿戴防静电服（摩擦电压＜100V）运输车辆：配备离子风机消除静电

电磁屏蔽敏感设备：采用μ-metal屏蔽箱（衰减＞60dB）运输途中：监测环境电磁强度（＜1V/m）

特殊设备处理

离子注入机：磁体专用防磁运输舱（剩磁＜0.1mT）

外延设备：保持腔体正压（＞5Pa）

量测设备：光学组件氩气保护

人员资质

操作人员：持SEMI认证设备工程师资格

吊装团队：具备特种设备操作证

全员培训：每年40小时专项训练

应急处理

备用电源：2小时UPS供电能力

应急气垫：30秒快速充气系统

专家支持：7×24小时技术响应

法律合规

特种设备备案：提前30日报备

危险品运输：持证车辆及人员

环保处理：废弃包装物回收

保险保障

设备价值150%投保

每日500万延误险

第三方责任险1亿元

文件管理

每台设备独立档案

操作视频全程记录

电子签名验收系统

持续改进每次搬迁后召开复盘会议

年度技术方案升级

参与SEMI标准修订

三、技术演进方向

智能搬运系统开发（5G+AI实时决策）

量子传感器应用（皮米级震动监测）

数字孪生全程仿真（误差＜0.1%）

自修复缓冲材料研究

1. 绿色搬迁技术体系构建