半导体设备搬运|半导体设备搬迁|半导体设备搬运公司-亚瑟公司

在半导体制造领域，一台EUV光刻机价值超过1.5亿美元，相当于3架空客A320客机。这样高价值的精密设备，对搬运环境的要求近乎苛刻——允许振动值小于0.003G（相当于蚊虫振翅的1/10），洁净度需维持ISO Class 3（每立方米空气中＞0.5μm的颗粒不超过1000颗）。亚瑟半导体设备安装（上海）有限公司，作为国内专业服务商，以"半导体设备搬运、半导体设备搬迁、半导体设备搬运公司"为核心业务，为晶圆厂、封测厂提供全流程的专业解决方案。

一、半导体设备搬运的五大技术挑战

微振动控制：设备内部光学系统对振动极其敏感

洁净度维持：防止颗粒污染导致良率下降

静电防护：避免ESD损伤敏感电子元件

温湿度稳定：保持设备环境参数恒定

定位：安装精度需达微米级标准

二、亚瑟核心技术解决方案主动防震系统

采用德国进口主动液压防震平台

振动抑制效率达98%，残余振动＜0.002G

实时振动监测系统，采样频率1000Hz

无尘搬运技术设备包装：双层防静电PE膜+不锈钢保护罩

路径处理：铺设PVC洁净地板，搭建临时洁净通道空气管理：配备移动式FFU净化单元洁净度控制方案：可实现ISO Class 3级环境维持

智能吊装系统高空吊装（50m+）狭窄空间作业（最小3m通道）精密设备姿态调整50T-300T全系列起重机进口凯夫拉尔吊带，破断强度10:1激光定位仪，定位精度±0.5mm

装备特点：特殊工况处理：

三、标准化服务流程

前期评估阶段（3-7天）现场3D激光扫描建模

设备参数采集（重量、尺寸、敏感度）路径风险评估（20项检查点）制定专属搬运方案

实施准备阶段（5-10天）专用工具定制人员专项培训应急预案演练客户现场验收

现场执行阶段日均进度管控关键参数实时监测突发情况应急响应每日工作简报

验收交付阶段设备性能测试环境参数检测全程数据报告质保服务签约

四、成功案例展示

案例一：某12英寸晶圆厂光刻机搬迁项目

挑战：在28天停产窗口内完成3台EUV光刻机搬迁

创新方案：预装主动减震基座，振动值＜0.0015G搭建百米级洁净走廊，洁净度维持Class 3开发智能调度系统，节省35%作业时间成果：提前4天完成，节省客户损失超2000万元

案例二：存储芯片厂设备跨厂区搬迁

难点：50+台设备需保持生产连续性

解决方案：模块化拆解方案，部件标记率100%同步实施新厂区基础设施准备建立实时追踪系统，2000+部件零差错成果：实现"零停产"搬迁，获客户评价

五、选择亚瑟的六大优势

专业技术团队：核心成员参与过10+个12英寸晶圆厂项目

装备保障：投入超3000万元引进专业工具

全流程保险：提供最高2亿元的单项目保额

数字化管理：智能系统全程监控关键参数

成本优化：专业方案可节省25%综合成本

快速响应：建立7×24小时应急支持体系

我们深知，半导体设备的每一次移动都关乎客户的核心生产力。亚瑟承诺以科学的管理体系、技术装备和极致的工匠精神，为您的设备提供纳米级的呵护，成为半导体产业生态中值得信赖的合作伙伴。

立即获取专业解决方案：400-081-0031

| www.arthurchina.com