-搬运装卸》特殊半导体设备

<搬运装卸》特殊半导体设备的亚瑟看到：华懋科技（603306.SH）发布旗下产业基金东阳凯阳科技创新发展合伙企业（有限合伙）（以下简称“东阳凯阳”）对外投资公告称，东阳凯阳于2020年12月30日，与傅志伟、上海博康半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍、徐州博康半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍签署了《投资协议》及其附属文件。华懋科技半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍通过东阳凯阳对徐州博康进行投资，将切入半导体关键材料光刻胶领域。

此次交易分为***增资、转股权以及追加投资权三个部分。具体来看，东阳凯阳出资3000万元人民币向徐州博康增资，增资完成后将持有徐州博康1.186%股权；东阳凯阳向标的公司实控人傅志伟提供共计人民币5.5亿元的可转股借款，东阳凯阳获得无条件的转股权，有权（但无义务）按照协议约定的条件，向傅志伟购买其持有的徐州博康股权；东阳凯阳在行使转股权的同时，有权（但无义务）按股权转让协议约定的条件，以2.2亿元的投资款受让傅志伟持有的徐州博康股权。徐州博康全称为徐州博康信息化学品有限公司，成立于2010年，实控人为傅志伟。公司主要从事光刻材料领域中的化学品的研发、生产、销售。目前主要产品包括光刻单体、树脂系列产品，光刻胶系列产品、添加剂及电子级溶剂、医药中间体等，是国内电子化学品高新技术企业。光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。光刻胶已经成为半导体领域的关键材料之一。我国自主的光刻胶产业发展，也是我国芯片产业自强打破国外垄断征程上的重要一环。目的费用对净利润造成的影响）孰低的原则计算。

什么是光刻胶？光刻胶也叫光阻或光阻剂，顾名思义，是用来挡光的，它是一种对光敏感的物质，通过特定光源（如紫外光、离子束等）照射，会发生局部溶解度的变化。光刻胶分为负性胶和正性胶，光照过后变得不可溶的是负胶，反之叫正胶，正胶相对普及一些。鉴于光刻胶的这种特性，可以用来在纳米级的芯片上蚀刻线路图。我们可以在硅晶圆片上布置一层仅几纳米厚的金属层，然后在上面涂一层光刻胶。然后我们可以用光把掩膜板，也就是类似“底片”上的电路图，照射到光刻胶上，让需要蚀刻的部位受光，需要保留的部位不受光，这就是所谓的“光刻”工艺。接着，用显影液把受光的区域洗掉，掩膜板上设计好的线路图就这么“复制”到硅晶圆片上了。那些暴露出来的金属层就可以继续用来加工处理，而未溶解的光刻胶则保护其他部分不受影响。所以，要把纳米级的精细电路图“画”到硅片上，就离不开光刻工艺，更离不开光刻胶材料。光刻工艺耗费的成本占总成本的35%，和硅片本身的成本比例（38%耗费的时间更是达到总工艺的一半，是半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍生产的关键环节。其中，光刻胶及其辅助材料耗费的成本占比并不高，分别是5%和7%，但其中的关键性、重要性，不能用材料价值来衡量。其技术难点在于精密度，比如在晶圆片上涂胶时，误差不能超过0.01微米（约10纳米），胶体每升含有的金属杂质***少于0.1微克，颗粒个数更是几乎不能有。

而且光刻胶的研究需要昂贵的曝光机半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍，光刻过程需要光刻机等设备，荷兰ASML光刻机一台高达1亿美元，1年仅能制作20几台。