电镜《装卸与搬运》
2021-01-22 来自: 亚瑟半导体设备安装（上海）有限公司 浏览次数:394
电镜《装卸与搬运》电压电陶瓷片，是一种应用广泛的电子陶瓷材料，能够实现机械能与电能的相互转化。例如，压电陶瓷蜂鸣片，由压电陶瓷片和金属震动板粘粘而成，由振荡电路激励，通过逆压电效应，压电陶瓷片产生一相对应的形变即振动，当振动频率在音频波段内时就会发出对应的音响。压电陶瓷蜂鸣片广泛应用于电子钟表、汽车喇叭、音响、通讯、遥感、计算器，电子玩具等产品。随着科学的发展，多层压电陶瓷器件得到了长足发展。多层压电陶瓷由数层压电材料组成，与内部电极交错排列。内部电极相继定位为正极和负极，所有正电极都连接到组件一侧的一个外部电极，而负极则连接在组件的另一侧。与单层压电陶瓷相比，多层压电陶瓷的优势在于相同位移条件下所需施加的电压更低。单层压电陶瓷的位移等于压电常数 d33乘以电压，而多层压电陶瓷的位移等于压电常数 d33乘以电压乘以层数。相比于单层压电陶瓷，多层压电陶瓷具有低压驱动、薄型化、高功率密度等优点，因此具有更大应用价值。
多层压电陶瓷多采用传统的粘接技术制造，而低温共烧技术能够改善元件的电学和机械特性，是发展高性能陶瓷叠层复合体的重要研究方向。低温共烧多层压电陶瓷的驱动电压低，器件可靠性高，位移量大，易于集成化，具有整体性能和使用稳定性，因而拥有多种优势。
扫描隧道显微镜（STM实验室搬迁）就使用了压电陶瓷技术，要控制扫描隧道显微镜的针尖在样品表面进行高精度的扫描，采用普通机械的控制方法很难达到这一要求，而采用压电陶瓷材料就能以简单的方式将 1mV-***0V 的电压信号转换成十几分之一纳米到几微米的位移。
但是，多层压电陶瓷器件品质要求较高，其内部多层结构需要使用扫描电镜（SEM）观察，以确认每一层陶瓷是否存在缺陷，多层陶瓷的厚度是否均匀，以及作为电极的银层是否覆盖均匀，这些结构影响着器件的使用寿命。
以下采用Thermo Scientific™ 台式场发射扫描电镜能谱一体机 Phenom Pharos 观察多层压电陶瓷内部结构。
Phenom台式扫描电镜实验室搬迁成像界面的右上角配置了彩色光学显微镜导航窗口，可以实时定位要观察的样品，结合全自动马达样品台，点击任意感兴趣的位置，视野即可快速移动到该位置。使用台式场发射电镜能谱一体机 Phenom Pharos 观察多层压电陶瓷断面由于多层压电陶瓷对工艺要求非常高，因此非常有必要使用扫描电镜进行微观形貌观察及成分分析，而Phenom台式电镜操作简单，效率高，样品无需喷金即可直接观察，是强有力实验室搬迁的表征工具。