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安装搬运《电镜精密设备》

2021-01-21  来自: 亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司 浏览次数:271

近年来兴起的电子显微镜安装搬运《电镜精密设备》原位(In Situ)技术引起了国内外学者的广泛关注.

其一方面继承了常规电子显微镜精‌密‍设‌备‍搬‌运‍所具有的高空间,高时间分辨率的优点,另一方面又在电子显微镜内部引入了电,磁,力,热等不同外部激励

.从而可以在微观尺度下实时原位观察,研究材料和器件的结构及物理性能变化,发现并提出新的理论,不断丰富和提高着人们的认知.

从目前国内外电镜原位研究的发展趋势来看,从单一物理量原位研究设备到多物理量原位研究设备的过渡是发展必然,原因是材料和器件的实际使用是位于复杂环境中的,研究环境尽量符合实际情况一直是科研工作者所追求的理想实验条件.

扫描电镜(SEM)精‌密‍设‌备‍搬‌运‍,透射电镜(TEM精‌密‍设‌备‍搬‌运‍)为实验平台,设计发明了一系列可实现不同物理功能的扫描电镜,透射电镜原位样品台.对不同材质和形貌的纳米材料进行原位多物理场耦合加载,得到了传统实验无法获得的对材料结构与性能之间相互作用关系的崭新认识.

主要研究内容总结如下:

一,研制了可以在1平方厘米平面范围内,实现温度20℃~500℃连续可控变化的扫描电镜原位变温功能样品台.

结合实验室自主研发的兰州大学纳米操纵器,搭建了可以同时实现扫描电镜下纳米材料热,力

电三场原位性能的测量平台.结合电化学模板沉积法制备了熔点约为180℃的一维SnPb纳米焊料,并对其进行实时原位熔化观察,同步检测仪器性能.精‌密‍设‌备‍搬‌运‍

运营项目

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