TEM测试透射电镜测试_亚瑟搬运

TEM测试透射电镜测试_亚瑟搬运元素分析在电镜分析中经常使用，随着科学技术的发展，现代分析型电镜通过安装 X射线能谱、能量过滤器、高角度环形探测器等配件， 逐步实现了在多学科领域、 纳米尺度下对样品进行多种信号的测试，从而可以获得实‍验‌室‍搬‌迁‍结构以及成分信息。以下是几种现在常用的电镜中分析元素的方法。

X 射线能谱（ Energy-dispersive X-ray spectroscopy, EDS）是微区成分分析常用的一种方法，其物理基础是基于样品的特征 X 射线。当样品原子内层电子被入射电子激发或电离时，会在内层电子处产生一个空缺，原子处于能量较高的激发状态，此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺，从而释放出具有能量的特征 X 射线。

电子能量损失谱（ Electron energy-loss spectroscopy, EELS）入射电子穿透样品实‍验‌室‍搬‌迁‍时，与样品发生非弹性相互作用，电子将损失一部分能量。如果对出射电子按其损失的能量进行统计计数，便得到电子的能量损失谱。由于非弹性散射电子大都集中分布在一个顶角很小的圆锥内，适当地放置探头， EELS 的接受效率会很高， 相比 EDS分析， EELS 的记谱时间更短， 特别是用于小束斑分析薄样品时；另外， EDS 在探测轻元素（ Z＜11）时只有 1%的信号能接收到，且谱线重叠比较严重，而 EELS 的能量分辨率（ 1eV）远高于 EDS（ 130eV），因此， EELS 在探测轻元素方面更有优势；而且，除了对样品进行定性和定量的成分分析外， EELS 的精细结构还可提供元素的化学键态、邻原子配位等结构信息，这是其他电子显微分析方法所不能比拟的。

Z 衬度像/HAADF-STEM 像（ Z-contrast Imaging/ High angle annular dark field image,HAADF）20 世纪 90 年代以来，随着实‍验‌室‍搬‌迁‍电镜硬件的不断发展，尤其是具有场发射电子枪的超高真空电镜的出现和普及，一种高分辨扫描透射成像技术，即高分辨或原子分辨率的原子序数（ Z）衬度像（ High Resolution or Atomic Resolution），在材料微观分析方面崭露头角，成为当代电子显微技术发展的新领域。 Z 衬度成像也可称为扫描透射电子显微镜高角环形暗场像（ HAADF-STEM， High Angle Angular Dark Field-Scanning Transmission Electron Microscopy）。在 TEM 中，被高电压加速的电子照射到试样上，实‍验‌室‍搬‌迁‍入射电子与试样中原子之间发生多种相互作用。其中弹性散射电子分布在比较大的散射角范围内，而非弹性散射电子分布在较小的散射角范围内，因此，如果只探测高角度散射电子则意味着主要探测的是弹性散射电子。这种方式并没有利用实‍验‌室‍搬‌迁‍中心部分的透射电子，所以观察到的是暗场像。