设备搬运设备安装设备吊装电镜安装

设备搬运设备安装设备吊装电镜安装的亚瑟报道：精‌密‍设‌备‍搬‌运‍产业资讯，日本JSR收购了次世代EUV光刻胶初创企业美国inpria。通过此次收购， JSR扩大了EUV 光刻胶布局。随着半导体精细制程需求而增长的EUV光刻胶市场上，JSR的地位有望进一 步加强。 根据精‌密‍设‌备‍搬‌运‍ 报道，JSR宣布收购 inpria 79%的股份。JSR在2017年获得了inpria 21%的股份，通过 此次追加投资完成了inpria 的100%股份持有。收购工作将于10月底结束。inpria的市值为5.14亿美 元。 精‌密‍设‌备‍搬‌运‍inpria是开发半导体曝光制程中使用的PR的初创公司。可以画出超精细电路pattern的EUV需要与传统制 程不一样的专用光刻胶。因其技术难度高，一直被日本 JSR、TOK、信越等生产。 精‌密‍设‌备‍搬‌运‍inpria开发出了比现有的有机物基础EUV 光刻胶光吸收率更高的无机物基础光刻胶，因此在业界备受关 注。三星电子、SK 海力士、TSMC等企业均对inpria进行过投资。精‌密‍设‌备‍搬‌运‍通过此次收购，JSR在EUV光刻胶市场上的影响力将进一步加强。随着JSR将产品领域从有机物光刻胶扩 大到无机物光刻胶，可以应对新一代EUV 光刻胶市场。JSR表示:“，JSR联手inpria将稳固和加强了作为 业界曝光制程领域的合作伙伴的地位。收购决定与 JSR对半导体产业的长期战略和经营方针 一致。”