高精密设备装卸搬运电镜安装搬运搬迁
2021-12-06 来自: 亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司 浏览次数:285
高精密设备装卸搬运电镜安装搬运搬迁的亚瑟报道:半导体制程半导体设备搬运已经进入3nm时代,因为台积电即将在本月开始试产3nm芯片。据悉,台积电Fab 18B厂已完成3nm生产线建设,近期将进行3nm测试芯片的正式下线投片的初期先导生产,预计2022年第四季度进入量产阶段。台积电南科Fab 18超大型晶圆厂将建设P5~P8共4座3nm晶圆厂。5G手机芯片及HPC运算芯片会是台积电3nm半导体设备搬运主要投片产品。业界预期,苹果及英特尔将会是3nm量产初期两大客户,后续包括AMD、高通、联发科、博通、迈威尔等都会在2023年开始采用3nm生产新一代芯片。台积电董事长刘德音曾经表示,在3nm制程上,于南科厂的累计投资将超过 2万亿元新台币,目标是3nm量产时,12英寸晶圆月产能超过60万片。60万片的月产能,这是一个非常惊人的数字,不过,在量产初期是达不到的,需要一个过程。据Digitimes报道,台积电3nm芯片在2022年下半年开始量产,单月产能5.5万片起,2023年,将达到10.5万片。台积电在台南科学园区有3座晶圆厂,分别是晶圆十四厂、晶圆十八厂和晶圆六厂,其中前两座是12英寸晶圆厂,后一座是8英寸晶圆厂。晶圆十八厂是5nm制程工艺的主要生产基地。而除了5nm工艺,台积电3nm制程工艺的工厂,也建在台南科学园区内,他们在2016年就公布了建厂计划,工厂靠近5nm制程工艺的主要生产基地晶圆十八厂。除了台积电,三星也将试产3nm芯片。2020年初,三星已开始其新建的V1晶圆工厂的大规模生产,成为业内首批完全使用6LPP和7LPP制造工艺的纯极紫外光刻(EUV)生产线。而该工厂还被认为是三星3nm制程的主阵地。三星V1晶圆厂位于韩国华城、毗邻 S3。三星于2018年2月开始建造V1,并于2019 下半年开始晶片的测试生产。目前,该公司还在扩大V1晶圆厂的产能规模,也在紧锣密鼓地为3nm量产做着准备。3nm制程半导体设备搬运芯片的试产,以及之后的量产,将半导体业的制程推进到了一个新的时代,使得前两年还处于理论研究阶段的工艺技术变成了现实。而在这之后,仍处在研发阶段的2nm和1nm制程,将受到越来越多的关注,特别是其晶圆厂、设备、材料、工艺等产业化元素,已经被提上议事日程,下面来看一下它们的进展情况。