洁净室设备搬运I无尘室设备移入移出移位打包运输
2022-04-10 来自: 亚瑟半导体设备安装（上海）有限公司 浏览次数:2603
洁净室设备搬运I无尘室设备移入移出移位打包运输的亚瑟报道：光刻机的重要性人尽皆知，作为芯片制造的重要设备，掌握越半导体设备搬运的光刻机生产制造技术，在半导体行业内就具备越大的话语权。而ASML是能生产EUV光刻机的半导体制造商，各种优势尽显。订单源源不断，每一台光刻机都会被哄抢。然而ASML可能不再是因为俄罗斯已经确定要自研光刻机了，而且日本也开始行动，佳能打算造3D封装光刻机。俄罗斯，日本在光刻机方面具体有怎样的情况呢？ASML还能保住优势地位吗？自从ASML实现EUV光刻机量产以来，半导体设备搬运光刻机市场就掌握在这家荷兰公司手中虽然EUV光刻机的自由出货不是ASML说了算的，但背后的瓦森纳协定成员国们给ASML提供了很大的底气。说过公开图纸别人也造不出来，这明摆着是对持有核心技术的自信。先不说ASML会不会公开图纸，就算ASML公开了，别人也未必会用，因为俄罗斯已经证明了要另辟蹊径，在全新的X射线道路上研发半导体设备搬运光刻机。据俄媒消息，俄罗斯定下光刻机研发目标，投入6.7亿卢布，采用X射线制造等级和EUV相同的光刻机设备。主流传统的半导体设备搬运光刻机路线是从EUV极紫外光出发，而俄罗斯是从X射线进行探索。如果是一般的路线可能不会引起太多人的重视，但X射线的波长比EUV还要短，可以复刻出分辨率更高的芯片线路图。这意味着俄罗斯X射线光刻机的确有可能做到媲美EUV光刻机，也许只是时间问题而已。除了俄罗斯，日本光刻机厂商佳能也有行动。据日经中文网报道，佳能打算在2023年上市一台3D半导体光刻机。采用芯片堆叠技术原理，将多层芯片实现堆叠。佳能所做的这台3D封装光刻机和时下热门的芯片堆叠话题是一个路子，核心观念就是把多块芯片堆加在一起，实现半导体设备搬运性能。