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半导体搬运公司-还是选择亚瑟起重搬运气垫车运输-正规团队服务

2022-12-16  来自: 亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司 浏览次数:155

半导体搬运公司-还是选择亚瑟起重搬运气垫车运输-正规团队服务的亚瑟报道:半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍报导,半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍一家韩国公司开发出一种新材料,有望显著提高荷兰半导体设备企业ASML的极紫外光微影曝光设备 (EUV) 的良率。根据半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍报导,半导体和显示材料开发商石墨烯实验室 (Graphene Lab) 近期宣布,其已开发出使用石墨烯制造、小于5纳米的EUV光罩护膜 (Pellicle) 技术,并已准备好进行量产半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍执行长Kwon Yong-deok表示,“光罩护膜过去是由硅制成的,但我们使用了石墨烯,这对于使用ASML的EUV微影曝光设备设备的半导体企业来说,石墨烯光罩护膜将成为晶圆制造良率的推进助力。”半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍光罩护膜是一种薄膜,可保护光罩表面免受空气中微分子或污染物的影响,这对于5纳米或以下节点制程的半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍制程技术的良率表现至关重要。另外,光罩护膜是一种需要定期更换的消耗品,而由于EUV微影曝光设备的光源波长较短,因此护膜需要较薄厚度来增加透光率。之前,硅已被用于制造光罩护膜,但石墨烯会是一种半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍的材料,因为石墨烯制造的光罩护膜比硅更薄、更透明。半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍报导强调,EUV光罩半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍能够承受曝光过程中发生的800度或更高的高温,所以其在高温下的硬化特性,硅制产品非常容易破裂。Graphene Lab指出,一旦石墨烯EUV光罩护膜受到采用,估计半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍膜市场到2024年将达到1万亿韩元的情况下,将有其半‍导‌体‍设‌备‍搬‌运‍商机。届时,包括台积电、三星电子、英特尔等在内的半导体企业都有望成为Graphene Lab的潜在客户

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