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72小时晶圆厂搬迁实录!看亚瑟如何创造行业新标杆

2025-08-04  来自: 亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司 浏览次数:3

2025年6月,某外资晶圆厂因产线升级急需完成上海洁净室搬迁,挑战要求:72小时内移装18台价值27亿设备-洁净度维持ISO Class 3(微粒≤1000/m³)-设备复位误差<0.1mm

攻坚方案

1. 空间重组技术

3D激光扫描生成搬迁路径图

设备间距动态优化算法

上海洁净室搬迁、半导体设备移位、设备定位精度、无尘拆装服务、设备安装资质、防静电包装

2. 毫米级移位控制

气垫悬浮平台+微调丝杠双系统

设备定位精度达0.03mm(客户要求0.1mm)

3. 洁净保障体系

移动洁净棚(PM2.5过滤效率99.99%)

防静电包装全程覆盖设备表面

粒子计数器每30分钟自动记录  

成果数据对比

指标行业标准本项目 提升幅度
搬迁时效120小时68小时43%↑
设备故障率8%0%100%↓
复位精度±0.2mm±0.03mm85%↑

亚瑟的设备安装资质无尘拆装服务,是72小时奇迹的关键!”——项目总监李工  上海洁净室搬迁、半导体设备移位、设备定位精度、无尘拆装服务、设备安装资质、防静电包装

经验复制
▶ 同方案已成功应用于合肥**芯片基地8小时完成10台精密移位

运营项目

运营项目

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