72小时晶圆厂搬迁实录!看亚瑟如何创造行业新标杆
2025-08-04 来自: 亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司 浏览次数:3
2025年6月,某外资晶圆厂因产线升级急需完成上海洁净室搬迁,挑战要求:72小时内移装18台价值27亿设备-洁净度维持ISO Class 3(微粒≤1000/m³)-设备复位误差<0.1mm
攻坚方案
1. 空间重组技术
3D激光扫描生成搬迁路径图
设备间距动态优化算法
2. 毫米级移位控制
气垫悬浮平台+微调丝杠双系统
设备定位精度达0.03mm(客户要求0.1mm)
3. 洁净保障体系
移动洁净棚(PM2.5过滤效率99.99%)
防静电包装全程覆盖设备表面
粒子计数器每30分钟自动记录
成果数据对比
指标 | 行业标准 | 本项目 | 提升幅度 |
---|---|---|---|
搬迁时效 | 120小时 | 68小时 | 43%↑ |
设备故障率 | 8% | 0% | 100%↓ |
复位精度 | ±0.2mm | ±0.03mm | 85%↑ |
亚瑟的设备安装资质与无尘拆装服务,是72小时奇迹的关键!”——项目总监李工
经验复制:
▶ 同方案已成功应用于合肥**芯片基地8小时完成10台精密移位
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