ASML的“三兄弟”往事
2020-06-06 来自: 亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司 浏览次数:661
亚瑟半导体设备安装上海有限公司在研究半导体设备行业时,
我们很难忽略这样三家奇特的公司-ASML、ASMI以及ASMPT,
他们名称中都含有ASM且均为上市公司,前两者的总部都在荷兰。
2018年,曾有外媒报道TCL欲10亿美元购荷兰ASMI子公司股权,
当时就有吃瓜群众误以为TCL要进军光刻机(ASML)领域,可见两者相似性有多大。
事实上,这三家公司之间的确存在联系,并且渊源颇深,在开始讲述之前,以下这个简单的示意图,或许能够使大家更容易理解。不难发现,这三家公司之间存在千丝万缕的关系。而根源,就得从一个人说起,这个人就是ASMI的创始人兼前首席执行官Arthur del Prado。
起源
在官网的描述中,Arthur是一位行业内的传奇人物,
在半导体行业中发挥了基础性和创始性作用。而在很多追随者的眼中,他是欧洲设备工业之父。
Jorijn van Duijn是一位研究了ASMI多年的博士研究生,在他的一篇报道中,我们看见了不一样的Arthur。Jorijn指出,Arthur的职业生涯起源以及由此而来的ASM International的根基都位于新兴的硅谷。Arthur 于1931年出生于印度尼西亚的巴达维亚。自1940年代末以来,许多荷兰公民开始移居国外,年轻的Arthur也进入了***的哈佛商学院,
不过他并没有获得学位。1950年代后期,Arthur搬去加利福尼亚,那里的***激发了他的创业热情。1957年的硅谷,发生了惊天动地的变化,其中涉及20世纪一些***的企业家。包括晶体管的共同William Shockley,以及八名工程师,其中包括Robert Noyce和Gordon Moore,
后来他们离开了Shockley的公司,这八名工程师(被Shockley昵称为“八叛逆”)随后创造了英特尔和美国***半导体等。
这其中还有一位人物,Dean Knapic。1957年12月,Dean Knapic离开了Shockley半导体实验室,
开始了自己的事业,创办了Knapic Electro-Physics,半导体制造商可以通过这家公司购买的硅,而无需投资新的操作并熟悉晶体的制造工艺。
这个的商业半导体材料制造商Knapic Electro-Physics为ASMI奠定了基础。
William Shockley,Smoot Horsley和Dean Knapic在Shockley半导体实验室
Arthur在Dean Knapic创立公司后与其相识,并保持了非常友好的关系。之后,以Knapic Electro-Physics“欧洲市场经理”身份前去荷兰,
探索荷兰和西欧市场。
Arthur曾回忆说,“1958年6月28日回到荷兰,我一只手拿着硅,另一只手拿着500美元。”
而这是这一次涉足,成为了其半导体技术***事业的开始。
1964年,Arthur在荷兰Bilthoven创立了ASM International(ASMI),
1971年,ASMI开始生产批气相沉积炉。1981年,ASMI成为在纳斯达克***公开发行股票的荷兰公司。一年后,它成为在日本设立全资子公司的荷兰公司。1999年,ASMI收购了芬兰公司Microchemistry;2004年,ASMI收购了韩国公司Genitech,巩固了在原子层沉积(ALD)领域的先驱地位。
1974年,Arthur收购了Fico Toolings的控股权,
该公司是一家用于半导体封装行业的材料制造商。并将其更名为ASM Fico,这为它通往西欧以外的新市场和更大市场开辟了道路。
ASM Fico的产品用于半导体器件的包装和组装。从1960,该行业的这一部分通常位于东南亚。看到这种趋势,1975年,Arthur在香港开设了亚洲ASM。初,
该办公室出售ASM Fico产品,但随着时间的推移,它衍生出了自己的生产能力。1988年,这些生产活动被公开列为ASM Pacific Technology(ASMPT)。
目前,该公司已成长为***的半导体组装和封装技术供应商。1984年,飞利浦和ASMI成立了合资企业。在VLSI research的一篇报道中曾提到,
Arthur在ASML的创立中发挥了关键作用。当时,飞利浦由于成本高昂,技术问题等原因计划要关停光刻设备研发小组。这时Arthur 找上门来要求发生产光刻机。
耐不住的Arthur 的软磨硬泡,飞利浦同意与Advanced Semiconductor Materials B.V.合作,在1984年4月成立Advanced Semiconductor Material Lithography Holding N.V.(ASML)。
到80年代中期,ASM的产品组合几乎涵盖了所有主要的半导体生产技术:沉积炉,光刻,离子注入,芯片和引线键合机以及各种封装技术。如今,
这三家公司均是业内赫赫有名的半导体企业。ASM三剑客ASML
首先是有名的ASML。ASML主要为半导体生产商提供光刻机及相关服务,
且是目前家能够生产制造7nm制程芯片光刻机的厂商。