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精密设备搬运-帕克原子力显微镜

2021-01-11  来自: 亚瑟半导体设备安装(上海)有限公司 浏览次数:263

精密设备搬运-帕克原子力显微镜

纳米科学研究的精‌密‍设‌备‍搬‌运‍途径精密设备搬运-帕克原子力显微镜

Park NX10为您带来最高纳米级分辨率的数据,值得您信赖、使用和拥有。无论是从样品设定还是到全扫描成像、测量与分析,Park NX10都可以在保证您专注于创新研究工作的同时提供高精度的数据。Park SmartScan 智能模式

SmartScan Auto独有的智能模式下,系统自动执行所有必要的成像操作,同时智能选择的图像质量和扫描速度。这是通过Park的专利技术才得以实现的。它不仅可以为用户节省时间和成本,还可以为用户带来研究成果。精‌密‍设‌备‍搬‌运‍

Park消除串扰技术

Park NX10可以为用户带来最高纳米级分辨率的数据,它是一个实现真正非接触模式的原子力显微镜,在延长探针使用寿命的同时,还可以良好地保护样品不受损坏,延长样品的使用寿命。可弯曲的独立的XY和Z扫描仪可带来超强度和分辨率。

Park的原子力显微镜模式

Park原子力显微镜具有综合的扫描模式,可帮助用户准确有效地收集各种数据类型。

1.        扫描范围为50 μm x 50 μm 的2D扫描器XY轴扫描器有对称的压电叠堆。它可为进行的纳米级样品扫描,提供基本的面外正交运动和高响应能力。Park NX10的这种紧密刚硬的构造具备低噪声高速的伺服响应能力。精‌密‍设‌备‍搬‌运‍

2. 高速Z轴扫描器,扫描范围达15 μm

借助压电叠堆和挠性设计,标准Z轴扫描器的共振频率高达9kHz(一般为10.5kHz)且探针的Z轴速率不低于48mm/秒。 Z轴扫描范围可从标准的15 μm扩展至30 μm(可另选Z扫描头)。

 3. 低噪声XYZ位置传感器

精‌密‍设‌备‍搬‌运‍的低噪声Z轴探测器代替Z电压作为形貌信号。低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。

 4. 驱动XY轴样品台

XY轴样品台是驱动化的,以便于将样品导航并定位到扫描区域。这种驱动台在这两个轴上的分辨率同为0.6um(使用微步)

5. 自动步进扫描

借助驱动样品台,步进扫描可编程多区域成像,以下是它的工作流程:

1.   扫描成像

2.        抬起悬臂

3.        移动驱动平台到设定位置

4.        进针

5.        重复扫描 该自动化功能可大大减少扫描过程中手动需求,从而很大程度上提高生产力。

操作方便的样品台6. Park NX10的头部设计可使用户从侧面操作样品和探针,用户在样品台上可放置的样品体积为50mm× 50mm×20mm(长×宽×高)。

 7. 高级扫描探针显微镜模式和选项的扩展槽

只需将可选模块插入扩展槽便可激活高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块设计,其生产线设备兼容性得到大大提高。

 8.结合了集成LED照明的同轴高倍显微镜

超长工作距离的定制物镜(工作距离50mm, 数值孔径0.21,分辨率1.0 μm )带来的镜头清晰度。直视同轴设计使得用户可轻易在样品表面寻找目标区域。EL20x的长行程物镜的大尺寸CCD可为您在高视角前提下提供0.7 μm的高分辨率。

 9.滑动嵌入SLD镜头的自主固定方式

您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜镜头。该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置,同时与复位精度为几微米的电路系统相连接。借助于相关性低的SLD,显微镜可成像并可准确测定力-距离曲线。

 10. 垂直调节驱动的Z平台和聚焦平台

驱动Z平台和驱动聚焦平台可使悬臂检测样品表面并为用户持续提供清晰的图像。用户通过软件界面进行操控,由高精度步进电机带动,即使是透明样品或液池应用中都可简单操作。

运营项目

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