精密设备搬运-库赛姆Plus台式扫描电镜
2021-01-11 来自: 亚瑟半导体设备安装（上海）有限公司 浏览次数:267
Plus超高分辨率台式（桌面式）扫描电镜精密设备搬运-库赛姆Plus台式扫描电镜搬运打破了传统台式扫描电镜精密设备搬运采用BSD探测器成像的局限性，利用创新的双聚光镜成像技术，采用大型扫描电镜成像方式，使用二次电子探测器作为基础成像单元，从而，可以获得更高的分辨率精密设备搬运（<5nm），是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。EM-30 Plus台式电镜配置SE+BSE探测器，可实现对样品的元素衬度、形貌衬度进行分析，同时，也可选配EDS探测器（能谱仪），快速实现对材料微区化学成分进行定性及定量分析。精密设备搬运式扫描电镜（EM30）具有业内最高的分辨率（8nm）及连续可调的加速电压（1-30KV）——加速电压越高，电子束波长越短，分辨率越高。精密设备搬运
台式扫描电镜（EM30）具有业内最高的分辨率（8nm）及连续可调的加速电压（1-30KV）——加速电压越高，电子束波长越短，分辨率越高。精密设备搬运
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