上海检测设备装卸搬运
2021-06-27
来自:
亚瑟半导体设备安装（上海）有限公司
浏览次数:230
上海检测设备装卸搬运的亚瑟报道：1963年7月，我从清华大学无线电系半导体半导体设备搬运业。我们这个半三班是清华大学培养的第三届半导体半导体设备搬运毕业班。毕业后同学们都服从半导体设备搬运分配，有的留校当老师，有的到研究单位搞科研，有的到工厂从事生产，也有个别同学到情报所从事科技情报工作。我和另外几位同学一起分配到北京电子管厂工作，当时代号为774厂，为四机部直属厂。当年8月份我就到位于北京东郊的电子管厂报到开始工作。刚到北京电子管厂时，分配在十车间高频晶体管工段劳动锻炼。这是一个生产Ge（金者）合金扩散高频晶体管工段，还有一个Ge合金低频晶体管工段。两个工段生产的都是苏联型号的Ge晶体管。当时产品主要用于装配制造半导体收音机，北京就有北京无线电厂生产半导体收音机。在高频管工段劳动锻炼期间，先后在清洗、测试、扩散等工序劳动，初步掌握了操作方法。后来分配搞引出电极拉丝新工艺，经过严文义（1962年南京工学院毕业）帮助，后来在生产上拉丝代替了原来的扎球老工艺，提高了电极引线的可靠性。
1964年调到十车间试制组，参加Si（硅）平面型晶体管试制、拉线工作。我当时筹备氧化和B（石朋）扩散工艺，和同志们一起自制了高温扩散炉和温度自动控制装置。其他技术员则分别自制了光刻机、制版照相机、蒸发台、外延炉等工艺设备和测试台。这些都是我们自己设计了草图，去机械加工车间加工，回来安装调试后投入使用。经过多次试验，我制备了一套不同厚度的二氧化硅样片，可采用涂胶腐蚀法、仅用普通显微镜就可分辨二氧化硅的厚度差别。并试验了炉温、水温、时间对生成氧化层厚度的影响，也试验了炉温、时间、携带气氛（干氧、湿氧）对B预扩散的影响，以及炉温、时间、携带气氛（干氧、湿氧）、水温对B再分布的影响。在平面管大组里和大家一起先后共同试制出4S1型（3～5W）和4S11型（10～15W）硅高频大功率平面管。并和一位应用组人员一起将北京电子管厂试制出来的4S11管送到陕西宝鸡769厂研制15W电台用1965年，总厂成立分厂，十车间改为十分厂，试制组则改为试验室：三室。5月份我从宝鸡出差回来，室里把我调出来筹备硅半导体单块集成电路试制线。当时称为固体电路，此为继半导体设备搬运电子管、第二代半导体晶体管之后的第三代电子器件。开始我仍搞B扩散工艺，设计了半导体集成电路的版图，是一块与非门电路。由制版组做出整套掩模版，用以投片试验。后担任固体电路大组长工作，负责串线和全组的组织工作。在室技术副主任朱恩均领导下，当年和全大组同志们一起共同试制出774厂DTL型二极管晶体管逻辑低速数字电路。之后又搞了几个新品种。我们使用的外壳为扁平型金属封装，两边出腿，每边7条腿。我配合总厂技术科和工具科、五分厂（玻璃分厂），试验改进扁平型集成电路外壳。我设计了外壳图纸，由工具科设计模具图纸，做出模具后由机加车间冲出零件，再由五分厂做成扁平型金属外壳。并和五分厂配合，试验采用低熔点玻璃作为硅片粘结材料。当时北京地区还有中国科学院半导体研究所和北京无线电技术研究所（简称沙河研究所），外地则有河北省石家庄13所也研制出半导体单块集成电路样品。我们研制的DTL电路采用SiO2介质隔离、反外延工艺，是与13所的工艺路线相同。13所在1965年底召开了一批半导体产品定型会，包括DTL型单片集成电路，这为我国集成电路半导体设备搬运设计定型会，我也参加了这次会议。在1966年至1967年间，我们774厂和石家庄13所共同承担为北京15所（华北计算机研究所）研制第三代小型电子计算机配套集成电路的任务，774厂提供量大的与非门电路，13所提供技术难度大的与非驱动器电路。15所研制出的第三代电子计算机样机在内部科研成果展览会上展出，展出时演奏“东方红”乐曲。此为我国自己研制的、采用国产集成电路的首批第三代电子计算机之一半导体设备搬运通过参加晶体管和集成电路的生产劳动，不仅加深了对在大学里所学知识的理解，而且具体掌握了一些工序的实际操作工艺，了解了一个晶体管和一个集成电路是经过哪些工序才能制造出来的。尤其是在以生产电子器件-----电子管为主的北京电子管厂里，不仅参与了第二代电子器件----半导体晶体管Ge管的生产和Si管的研制，更有幸的是在大学毕业刚工作两年后，在1965年6月份就开始承担研制第三代电子器件----半导体集成电路的光荣任务。Ge管生产时，技术上是由当时十车间技术副主任王正华（1952年清华大学电机系毕业）领导下进行的，Si管研制时，技术上是由当时试制组副组长朱恩均（1957年北京大学半导体物理毕业）领导下进行的。而在774厂研制集成电路3年半（1965年下半年至1968年底）期间，我由一个B扩散组工艺技术员开始工作，后来担任了固体电路组大组长，负责整条研制线的工作。固体电路组工人由三部分人员组成：一部分来自电子管车间的女工，一部分来自总厂警卫队的男工，还有一部分为近两年分配来的中专毕业生（后来转为技术人员）。技术员则为1962年至1967年期间毕业的大学生，有清华、西安交大、西电、成电、浙大等大学。之后在1966----1968年间，当我们为15所研制电子计算机配套的集成电路时，15所还派有技术人员前来合作，主要对产品进行测试和分析工作。在我们研制集成电路期间，不仅锻炼了我们自己的队伍，而且还接待了沈阳半导体所和878厂筹备组派来的实习队伍，以及北京大学半导体学生的见习活动，为我国集成电路事业培养人才作出了贡献。总之，半导体设备搬运在774厂工作虽然只有5年多的时间，但由于直接参加生产晶体管和研制集成电路实践，这为今后长期从事集成电路研制、生产和管理工作打下了扎实的基础。
